二维半导体器件电应力失效机制研究

项目负责人夏静
依托单位中国科学院理化技术研究所
立项年份2017
学科分类表面、薄膜和纳米结构的表征和分析
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥28.0万
批准号11704389

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