柔性MEMS谐振式加速度计的共形设计与热弹性耦合动力学分析

项目负责人林晨
依托单位清华大学
立项年份2022
学科分类数理科学部
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥30.0万
批准号12202240

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