敏化的高阈值体系下亚衍射极限纳米光刻极限尺度研究

项目负责人李理
依托单位长春理工大学
立项年份2015
学科分类微纳光学与光子学
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥20.0万
批准号11504030

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