等离子体浸没离子注入制备P型ZnO薄膜材料的研究

项目负责人梁荣庆
依托单位复旦大学
立项年份2009
学科分类低温等离子体及其应用
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥42.0万
批准号10975037

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