离子束溅射动态过程的同轴背反射扫描电镜原位研究

项目负责人蒋昌忠
依托单位武汉大学
立项年份2000
学科分类离子束与物质相互作用和辐照损伤
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥6.5万
批准号10045001

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