基于MEMS技术氮化镓蜂窝纳米网基FET型高性能氢气传感器阵列关键科学问题研究

项目负责人钟爱华
依托单位深圳大学
立项年份2020
学科分类敏感电子学与传感器
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥56.0万
批准号62071307

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