超大尺寸蓝宝石衬底表面形貌双面同步测量关键技术研究

项目负责人程方
依托单位华侨大学
立项年份2020
学科分类机械测试理论与技术
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥58.0万
批准号52075190

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