金属氧化物纳米颗粒型极紫外光刻胶的控制合成与成像性能研究

项目负责人徐宏
依托单位清华大学
立项年份2020
学科分类先进制造关键材料
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥58.0万
批准号52073161

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