颠覆大马士革铜互连工艺的铜电沉积理论与工艺技术

项目负责人安茂忠
依托单位哈尔滨工业大学
立项年份2019
学科分类界面与纳米电化学
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥63.0万
批准号21972037

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