定向凝固多晶硅锭中碳化硅和氮化硅夹杂物的研究

项目负责人杜国平
依托单位南昌大学
立项年份2008
学科分类半导体光电子器件与集成
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥9.0万
批准号60844008

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