HfO2基柔性外延铁电薄膜亚稳相-稳相转变的应力调控机理研究

项目负责人姜杰
依托单位湘潭大学
立项年份2019
学科分类表面、界面与薄膜力学
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥24.0万
批准号11902285

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