射频感性耦合等离子体中与容性耦合有关的问题研究

项目负责人丁振峰
依托单位大连理工大学
立项年份2006
学科分类低温等离子体及其应用
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥29.0万
批准号10675030

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