面向低温测试系统的芯片级微组装静电梳齿驱动三维平台研发

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微纳机械系统学科其他项目

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• 基于声子能量耦合的二维过渡金属硫化物异质结导热特性研究（国自然，王日东，2020）
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• 面向微半球陀螺仪的模态旋转调制零漂自抑制方法研究（国自然，丁徐锴，2020）
• 高频高压功率型压电泵关键技术研究（国自然，冯志华，2020）