面向先进微纳制造的新型复合外场调控选择性原子层沉积机制与技术研究

项目负责人李进
依托单位杭州市北京航空航天大学国际创新研究院(北京航空航天大学国际创新学院)
立项年份2025
资助来源国家自然科学基金

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