新型高k栅介质SrHfON薄膜的制备与物理特性研究

项目负责人冯丽萍
依托单位西北工业大学
立项年份2009
学科分类无机非金属半导体与信息功能材料
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥21.0万
批准号50902110

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