基于电子束光刻的生物蛋白纳米结构加工关键技术研究

项目负责人秦楠
依托单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所
立项年份2017
学科分类高分子材料加工与成型
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥21.0万
批准号51703239

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