纳秒脉冲放电等离子体沉积复合薄膜抑制介质窗真空表面闪络

项目负责人孔飞
依托单位中国科学院电工研究所
立项年份2018
学科分类高电压与放电
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥28.0万
批准号51807189

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