基于氟碳等离子体刻蚀和氧等离子体修饰的熔石英元件表面紫外损伤特性研究

项目负责人邵婷
依托单位中国工程物理研究院激光聚变研究中心
立项年份2020
学科分类应用光学
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥24.0万
批准号62005258

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