先进互连技术的扩散阻挡层材料工艺开发和机理研究

项目负责人张卫
依托单位复旦大学
立项年份2018
学科分类无机非金属半导体与信息功能材料
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥400.0万
批准号51861135105

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