硅晶圆贯通微结构激光冲击磨粒与电化学复合协同加工机理研究

项目负责人朱浩
依托单位江苏大学
立项年份2022
学科分类工程与材料科学部
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥54.0万
批准号52275431

工具

查询更多基金项目 | 智能选刊推荐

该负责人其他项目

江苏大学其他项目

工程与材料科学部学科其他项目