大尺度下深纹纳米结构制造方法与机理表征

项目负责人陈林森
依托单位苏州大学
立项年份2010
学科分类制造系统与智能化
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥220.0万
批准号91023044

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