表面等离激元纳光机电位移敏感单元的协同优化设计研究

项目负责人卢乾波
依托单位西北工业大学
立项年份2020
学科分类微纳机电器件与控制系统
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥24.0万
批准号62004166

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