HVPE法制备AlN同质衬底

项目负责人胡强
依托单位中国科学院半导体研究所
立项年份2011
学科分类无机非金属半导体与信息功能材料
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥25.0万
批准号51102226

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