7nm节点表面等离子体光刻与自对准图形技术混合制造方法研究

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该负责人其他项目

• 代谢重编程多层次调控肿瘤与微环境的机制研究（国自然，高平，2023）
• 基于含氮、硫共轭基团调控卟啉材料的储能特性及其机制研究（国自然，高平，2022）
• 中上扬子地区下寒武统与下志留统页岩硅质成岩-孔隙演化耦合机制的比较研究（国自然，高平，2022）
• 代谢调控琥珀酰化的机制及其对肝癌发生发展的影响（国自然，高平，2021）
• cMyc介导的脂类代谢重编程在调控肝癌免疫中的作用及机制（国自然，高平，2019）
• ITGA1在前列腺癌发生发展中的作用及机制研究（国自然，高平，2019）
• 新型卟啉分子正极材料用于高效钠基双离子电池的储能特性研究（国自然，高平，2018）
• 上扬子地区早寒武世优质烃源岩的形成机理（国自然，高平，2018）

中国科学院光电技术研究所其他项目

• 基于非局域超表面的波长-OAM模式多路复用器件研究（国自然，余世林，2025）
• 轻量化光电跟踪架时频联合超带宽扰动抑制方法研究（国自然，余智勇，2025）
• 涡旋光束轨道角动量与大气湍流像差分离及同步探测方法研究（国自然，唐奥，2025）
• 面向神经调控的可编程高分辨率光致声场调控技术（国自然，张若钦，2025）
• 面向复杂光场调制的高环境适应性平面光学器件基础研究（国自然，方瑶，2025）
• 物理信息神经网络驱动的可重构超表面散射机理建模与逆向调控方法研究（国自然，柏果，2025）
• 基于光镊/双锥光纤协同的微纳掩模污染物高灵敏检测（国自然，汪正坤，2025）
• 高阈值-低损耗超表面的飞秒矢量激光纳米制造方法研究（国自然，王青松，2025）

光子与光电子器件学科其他项目

• 面向高效率紫外有机发光器件的可溶液加工过渡金属氧化物p型掺杂层及其空穴注入调控（国自然，张小文，2020）
• 磷化铟量子点发光二极管中氧化锌界面处电荷动态的研究（国自然，吴政辉，2020）
• 相变VO2/MoS2垂直异质结界面调控及其光电探测性能研究（国自然，吴静远，2020）
• 集成光学超表面的倾斜光纤光栅等离子体共振增强拉曼传感器（国自然，李凯伟，2020）
• 基于钙钛矿双通道协同电荷产生机制的溶液加工叠层有机电致白光器件（国自然，徐进，2020）
• 基于多异质结的太赫兹超表面波前动态调控机理及其功能器件研究（国自然，刘剑，2020）
• 基于铟镓砷/砷化镓量子阱纳米线阵列的光泵浦面发射激光器（国自然，张旭涛，2020）
• 基于飞秒激光直写的二维碳化钛MXene多功能柔性微系统的集成技术研究（国自然，安佳宁，2020）