面向深紫外LED的纳米图案化蓝宝石衬底高效飞秒激光加工

项目负责人夏虹
依托单位吉林大学
立项年份2020
学科分类光子与光电子器件
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥59.0万
批准号62075081

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