大面积中阶梯光栅刻划刀具磨损机理与光栅刻划性能劣化机制研究

项目负责人吉日嘎兰图
依托单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
立项年份2020
学科分类交叉学科中的光学问题
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥60.0万
批准号62075216

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