高活性铈基研磨颗粒表面缺陷构筑及其化学机械抛光机理研究

项目负责人许宁
依托单位陕西科技大学
立项年份2023
学科分类工程与材料科学部
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥52.0万

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