| 项目负责人 | 付鑫 |
| 依托单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 立项年份 | 2017 |
| 学科分类 | 半导体光电子器件与集成 |
| 资助来源 | 国家自然科学基金 |
| 项目状态 | 已立项 |
| 资助金额 | ¥24.0万 |
| 批准号 | 61704168 |
工具
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