大相对孔径高衍射效率消像差凹面光栅的纳米压印-分区摆动刻蚀制作方法研究

项目负责人谭鑫
依托单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
立项年份2016
学科分类光谱信息学
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥16.0万
批准号61675197

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