基于离子束剥离技术的绝缘体上的碳化硅制备及器件研究

项目负责人黄凯
依托单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所
立项年份2019
学科分类离子注入及离子束材料改性
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥25.0万
批准号11905282

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