硅晶体中磷、砷沟道离子注入及其退火特性的研究

项目负责人王兴民
依托单位北京师范大学
立项年份1986
学科分类物理学Ⅱ
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥1.0万
批准号18670110

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