激光-锡等离子体极紫外光刻光源中的原子物理和辐射优化

项目负责人李博文
依托单位兰州大学
立项年份2023
学科分类数理科学部
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥53.0万

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