准分子光源深紫外线及其衍生自由基对电子级纯水有机物的控制原理

项目负责人王文龙
依托单位清华大学深圳国际研究生院
立项年份2022
学科分类工程与材料科学部
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥54.0万
批准号52270045

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