基于3-D EFD方法发展适用于传统及TSV技术的互连系统寄生电容模型研究

项目负责人赵巍
依托单位北京大学
立项年份2013
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥29.0万
批准号61306042

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