适于低成本大面积制造的超低电压纳米真空沟道器件制备技术及其工作机理研究

项目负责人李男男
依托单位中国工程物理研究院电子工程研究所
立项年份2018
学科分类物理电子学
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥24.0万
批准号61801449

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