微机械传感器及其集成微系统研究

项目负责人蔡新霞
依托单位中国科学院电子学研究所
立项年份2002
学科分类半导体电子器件与集成
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥26.0万
批准号60276039

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