TSV三维射频微系统跨尺度热-结构失效机理研究

项目负责人兰欣
依托单位山东大学
立项年份2017
学科分类表面、界面与薄膜力学
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥23.0万
批准号11702160

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