连接产酸基团新型极紫外光刻胶的光化学及光刻性能研究

项目负责人郭旭东
依托单位中国科学院化学研究所
立项年份2019
学科分类光化学与光物理过程
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥26.0万
批准号21903085

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