超薄氮化镓晶体元件低损伤超精密磨削机理及面形控制基础研究

项目负责人李琛
依托单位哈尔滨工业大学
立项年份2020
学科分类加工制造
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥24.0万
批准号52005134

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