单晶硅切片加工表面无裂纹损伤创成机理研究

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该负责人其他项目

• 单晶碳化硅的锯切晶片翘曲变形机制与变形调控工艺研究（国自然，葛梦然，2025）

山东建筑大学其他项目

• 《民法典》实施中可得利益的确定模式研究（国社科，郝丽燕，2025）
• 供需适配视角下养老机构分类改革研究（国社科，高利平，2025）
• 改性硫氧镁无机胶复合竹结构材制备及胶-竹纤维多尺度界面协同机制（国自然，刘巧玲，2025）
• 基于诱导聚合技术的橡胶/CNTs跨尺度增强体改性沥青材料的可控合成及多尺度界面交互作用机制研究（国自然，刘玉梅，2025）
• 黄河变迁视角下“城—水”形态的多尺度适应性保护研究——以山东段为例（国自然，张星，2025）
• 整形脉冲飞秒激光辅助碳化硅深盲孔湿法刻蚀-超声加工的机理研究与工艺调控（国自然，张茹，2025）
• 镁钛绿色低碳协同冶炼过程多场耦合作用机理研究（国自然，张超，2025）
• 领域知识与非完备数据驱动的办公建筑室内环境高保真建模与智能控制（国自然，彭伟，2025）

加工制造学科其他项目

• 带热障涂层叶片气膜孔的磁流体辅助电化学放电加工新方法及机理研究（国自然，唐伟东，2020）
• 气膜冷却孔的激光辅助毛细管电解复合加工方法（国自然，康小明，2020）
• 枪钻加工镍基合金微细深孔非线性动力学特性研究（国自然，沈兴全，2020）
• 旋转磁场提高微细电解加工精度的机理与工艺优化（国自然，张长富，2020）
• 超薄氮化镓晶体元件低损伤超精密磨削机理及面形控制基础研究（国自然，李琛，2020）
• 基于结构化刀具的跨尺度三维纳米结构表面加工基础理论与方法（国自然，闫永达，2020）
• 控制力比的衬底用单晶氮化镓纳米磨削损伤抑制方法及相关机理研究（国自然，吴跃勤，2020）
• 低温加工中冷却介质射流系统稳定性分析与切换控制（国自然，李旭，2020）