面向MEMS稳健性设计的随机分析理论与实验研究

项目负责人闫浩
依托单位东南大学
立项年份2019
学科分类微纳机电器件与控制系统
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥23.0万
批准号61904030

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