全耗尽绝缘体上硅(FD-SOI)材料及其制备工艺中的基础问题研究

项目负责人魏星
依托单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所
立项年份2020
学科分类半导体材料
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥63.0万
批准号62074152

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