自支撑氧化铪基铁电单晶薄膜与硅集成及其非易失存储研究

项目负责人尹志岗
依托单位中国科学院半导体研究所
立项年份2020
学科分类半导体材料
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥59.0万
批准号62074145

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