基于扫描探针显微镜技术的高性能锡基氧化物薄膜晶体管电荷传输机理研究

项目负责人吴倩
依托单位中山大学
立项年份2020
学科分类半导体电子器件与集成
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥24.0万
批准号62004227

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