第三代半导体外延生长缺陷的光学原位监测方法研究

项目负责人严冬
依托单位佛山科学技术学院
立项年份2017
学科分类半导体材料
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥24.0万
批准号61704027

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