用于离子迁移率谱仪的MEMS表面电离源研究

项目负责人何秀丽
依托单位中国科学院电子学研究所
立项年份2004
学科分类敏感电子学与传感器
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥18.0万
批准号60402002

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