高深宽/径比MEMS器件3D纳米测量探头理论模型及关键技术

项目负责人李瑞君
依托单位合肥工业大学
立项年份2016
学科分类机械测试理论与技术
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥62.0万
批准号51675157

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