面向大范围动态扫描的纳米平台动力学机理与控制方法研究

项目负责人闫鹏
依托单位山东大学
立项年份2017
学科分类微纳机械系统
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥60.0万
批准号51775319

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