基于压电纳米谐振梁的超高灵敏微加速度计技术研究

项目负责人唐彬
依托单位中国工程物理研究院电子工程研究所
立项年份2020
学科分类微纳机电器件与控制系统
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥59.0万
批准号62074138

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