晶体各向异性蚀刻问题理论与方法研究

项目负责人赵萌
依托单位西安电子科技大学
立项年份2017
学科分类无机非金属半导体与信息功能材料
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥25.0万
批准号51702251

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